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iTomic MW Lite批量轻型系列原子层沉积镀膜系统

    iTomic MW Lite批量轻型系列ALD镀膜系统,设备以国产化零部件为主导,可满足高端研发和新工艺试量产需求,尤其适用于,新型太阳能电池以及显示行业应用。



    1、采用最新自主设计开发的模块化自动平台与ALD反应腔;

    2、实现可自由选择的半自动或全自动ALD系统;

    3、满足各类晶圆尺寸(46英寸)的工艺需求,适用于客户高端研发和新工艺开发;

    44寸晶圆可实现单批次装载450pcs

    5、薄膜均匀性优,可实现片内<1.5%;

    6、满足供应链高比率国产化需求。


    如果您需要对产品咨询,请将您的需求发送到事业部销售邮箱:semisale@leadmicro.com

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